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simco進口日本電離器型號4214在線離子發(fā)生器
產品型號：4214
產品品牌：
產品簡介：
支持超低顆粒 采用單晶硅電極。獨特的清潔機制，不會向外部釋放顆粒，確保長時間穩(wěn)定的清潔度采用智能控制電路，無需任何調節(jié)內置傳感器持續(xù)監(jiān)控離子產生，實現可靠的靜電控制器、電源 內置集成自動高壓關斷功能在低流量時保護產品適用于先進的半導體制造工藝
和其他超低顆粒應用24V DC 驅動
simco進口日本電離器型號4214在線離子發(fā)生器
simco進口日本電離器型號4214在線離子發(fā)生器
| 輸入電壓 | 24V DC+/-5% 6W（典型值） |
|---|---|
| 離子平衡 | <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無管道連接 |
| 靜電消除時間 | <10秒 150毫米距離 40LPM 無管道 +/-1kv → +/- 100v 通過帶電板監(jiān)視器 |
| 離子發(fā)生方式 | 電暈放電方式 高頻交流方式 |
| 清潔度 | ISO Class1，0.1 微米 “擴展 ISO Class1，10nm”* |
| 電極 | 單晶硅可更換 |
| 相應的吹掃氣體 | 氮氣 > 99.998% |
| 流量 | 40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa) |
| 吹掃壓力 | 207Kpa（=100LPM流量） |
| 氣體溫度 | 60攝氏度 |
| N2 吹掃連接 | 世偉洛克 3/8" 外徑管道 |
| 電離 N2 連接 | 世偉洛克 1/2" OD 管道連接，帶 1/4NPT 內螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC |
| 工作溫度限制 | 15至60攝氏度 |
| 信號輸出 | 開/關觸點報警和低離子輸出 |
| 尺寸 | 長 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm 不包括管道 |
| 重量 | 640克 |
| 外部的 | 不銹鋼 |
| 安裝方法 | 背面M5螺絲 螺絲長度必須小于10mm |
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