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日本ulvac愛發(fā)科進(jìn)口低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U10H
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 2,400 |
| 氫 | 3,600 | ||
| 氬氣 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 極限壓力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流速 | 氬氣 | 帕?升/秒(托?升/秒) | 8.0×10 2 (6.0) |
| 氫 | 1.5×10 2 (1.1) | ||
| 泵送能力 | 氬氣 | 帕?升(托?升) | 1.0×10 8 (7.8×10 5 ) |
| 氫 | 6.7×10 5(5.0×10 3) | ||
| 冷卻時(shí)間 (電源循環(huán)) | 小值(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 安裝法蘭 | UVG-250 | ||
| 壓縮機(jī)組 | C15R | ||
| 重量 | 公斤 | 29.0 | |