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日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 愛發(fā)科
產(chǎn)品型號：CRYO-U12HSP
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
CRYO-U系列是使用2級GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。
根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。
特征
氬氣的抽真空能力約為標(biāo)準(zhǔn)型號（U12H）的兩倍。
氫氣排氣量約為標(biāo)準(zhǔn)型號（U12H）的1.5倍。
播放間隔變得更長，有助于提高設(shè)備的可用性。
日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 愛發(fā)科
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 4,100 |
| 氫 | 6,000 | ||
| 氬氣 | 3,400 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 極限壓力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流速 | 氬氣 | 帕?升/秒(托?升/秒) | 2.0×10 3 (15.0) |
| 氫 | 4.1×102 （ 3.1） | ||
| 泵送能力 | 氬氣 | 帕?升(托?升) | 4.4×10 8 (3.3×10 6 ) |
| 氫 | 1.6×10 6 (1.2×10 4 ) | ||
| 冷卻時(shí)間 （電源循環(huán)） | 小值(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 安裝法蘭 | UVG-300,10 B美國標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 壓縮機(jī)組 | C30VRT | ||
| 重量 | 公斤 | 四十二 | |
*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)
可移動底座為選配