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日本ulvac進(jìn)口低溫泵愛發(fā)科CRYO-U16P

產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U16P

產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac

產(chǎn)品簡(jiǎn)介： CRYO-U系列是使用2級(jí)GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。特征適用于中、大型設(shè)備。CRYO-U16 的高負(fù)載版本。

產(chǎn)品介紹.

日本ulvac進(jìn)口低溫泵愛發(fā)科CRYO-U16P

抽速(20℃)	氮	升/秒	5,000
	氫		10,000
	氬氣		4,200
	水		16,000
極限壓力	帕(托)		10 ^-7 (10 ^-9 )
流速	氬氣	帕?升/秒(托?升/秒)	1.6×10 ³（12）
	氫		4.5×102 ^（ 3.4）
泵送能力	氬氣	帕?升(托?升)	4.3×10 ⁸ (3.3×10 ⁶ )
	氫		2.4×106 ^（ 1.8× ¹⁰⁴）
冷卻時(shí)間（電源循環(huán)）	小值(Hz)		120/110(50/60)
安裝法蘭			UVG-400
壓縮機(jī)組			C30VRT
重量		公斤	61.0

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